同花順（300033）金融研究中心6月17日訊，有投資者向立昂微（605358）提問， 請問貴公司的輕摻、重?fù)焦に嚕轻槍伖馄?，還是針對外延片的生產(chǎn)工藝。謝謝！

　　公司回答表示，尊敬的投資者：您好，感謝您對本公司的關(guān)注。硅拋光片由硅研磨片經(jīng)過后續(xù)拋光、清洗等精密加工而成；硅外延片是指在硅單晶襯底上外延生長一層或多層硅單晶薄膜的材料。硅拋光片按照摻雜程度不同分為輕摻硅拋光片和重?fù)焦钂伖馄?，摻雜元素的摻入量越大，硅拋光片的電阻率越低。輕摻硅拋光片廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路的制造，也有部分用作硅外延片的襯底材料。重?fù)焦钂伖馄话阌米鞴柰庋悠囊r底材料。根據(jù)襯底片的摻雜濃度不同，分為輕摻雜襯底外延片和重?fù)诫s襯底外延片，前者通過生長高質(zhì)量的外延層，可以提高CMOS柵氧化層完整性、改善溝道漏電、提高集成電路可靠性，后者結(jié)合了重?fù)诫s襯底片和外延層的特點(diǎn)，在保證器件反向擊穿電壓的同時(shí)又能有效降低器件的正向功耗。謝謝。

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